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顯微分光膜厚儀

簡要描述:OPTM 系列顯微分光膜厚儀
測量項目:

? 絕.對反射率測量

? 多層膜解析

? 光學常數分析(n:折射率,k:消光系數)

  • 產品型號:OPTM 系列
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-09-25
  • 訪  問  量:5533

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詳細介紹

品牌OTSUKA/日本大冢

OPTM 系列顯微分光膜厚儀

•  使用顯微光譜法在微小區域內通過絕.對反射率進行測量,可進行高精度膜厚度/光學常數分析。

•  可通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度,例如各種膜、晶片、光學材料和多層膜。 測量時間上,能達到1秒/點的高速測量,并且搭載了 即使是初次使用的用戶,也可容易出分析光學常數的軟件。

•  頭部集成了薄膜厚度測量所需功能

•  通過顯微光譜法測量高精度絕.對反射率(多層膜厚度,光學常數)

•  1點1秒高速測量

•  顯微分光下廣范圍的光學系統(紫外至近紅外)

•  區域傳感器的安全機制

•  易于分析向導,初學者也能夠進行光學常數分析

•  獨立測量頭對應各種inline客制化需求

•  支持各種自定義

測量項目:

•  絕.對反射率測量

•  多層膜解析

•  光學常數分析(n:折射率,k:消光系數)

OPTM 系列顯微分光膜厚儀顯微分光膜厚儀

型號

OPTM-A1

OPTM-A2

OPTM-A3

波長范圍

230 ~ 800 nm

360 ~ 1100 nm

900 ~ 1600 nm

膜厚范圍

1nm ~ 35μm

7nm ~ 49μm

16nm ~ 92μm

測定時間

1秒 / 1點

光斑大小

10μm (小約5μm)

感光元件

CCD

InGaAs

光源規格

氘燈+鹵素燈

鹵素燈

電源規格

AC100V±10V 750VA(自動樣品臺規格)

尺寸

555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動樣品臺規格之主體 部分)

重量

55kg(自動樣品臺規格之主體部分)


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